কেস পটভূমি: চিপ তৈরিতে "হাজার-গর্ত সমস্যা"
সেমিকন্ডাক্টর চিপ প্রক্রিয়াকরণের ক্ষেত্রে, উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতার কারণে এচিং প্রক্রিয়ায় স্প্রে ডিস্ক তৈরিতে কোয়ার্টজ গ্লাস ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। কোয়ার্টজ স্প্রে ডিস্কের জন্য একটি নেতৃস্থানীয় চিপ সরঞ্জাম প্রস্তুতকারকের প্রক্রিয়াকরণের প্রয়োজনীয়তাগুলি খুব প্রতিনিধিত্বমূলক:
উপাদান: কোয়ার্টজ গ্লাস (কঠোরতা HV700)
মূল বৈশিষ্ট্য: 0.5 মিমি ব্যাস, 5 মিমি গভীর মাইক্রো-গর্ত (গভীরতা-থেকে-ব্যাসের অনুপাত 10:1), 280 মিমি ব্যাসের একটি ডিস্কে 4,996টি গর্ত সমানভাবে প্রক্রিয়া করা দরকার
যথার্থতা প্রয়োজনীয়তা: গর্ত বৃত্তাকার কম বা সমান ±5μm, অবস্থান ত্রুটি<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
প্রস্তুতকারক মূলত ঐতিহ্যগত ড্রিলিং প্রযুক্তি ব্যবহার করেছিলেন, কিন্তু দুটি মারাত্মক সমস্যার সম্মুখীন হয়েছিল:
দক্ষতা বাধা: একক গর্ত প্রক্রিয়াকরণে 270 সেকেন্ড সময় লাগে এবং একক ডিস্ক প্রক্রিয়াকরণের জন্য 34 দিনের জন্য অবিচ্ছিন্ন অপারেশন প্রয়োজন;
নিয়ন্ত্রণের বাইরে ফলন: গর্ত প্রান্তের পতন 0.4 মিমি পর্যন্ত পৌঁছায়, যার ফলে স্ট্রেস ঘনত্বের কারণে 30% এরও বেশি ওয়ার্কপিস ফাটল এবং স্ক্র্যাপ হয়ে যায়।
বিশেন সলিউশন: অতিস্বনক প্রযুক্তি ঐতিহ্যগত কারুশিল্পকে নষ্ট করে
কোয়ার্টজ গ্লাসের ভঙ্গুর এবং শক্ত বৈশিষ্ট্যের পরিপ্রেক্ষিতে, বিশেন R&D টিম ‘আল্ট্রাসোনিক নির্ভুলতা খোদাই এবং মিলিং সিস্টেম’ প্রস্তাব করেছে, যা তিনটি প্রযুক্তিগত উদ্ভাবনের মধ্য দিয়ে ভেঙেছে:
① উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি অতিস্বনক কম্পন হ্রাস প্রযুক্তি
20kHz অতিস্বনক কম্পন ড্রিল বিট এবং উপাদানের মধ্যে যোগাযোগের সময়কে মাইক্রোসেকেন্ডে সংক্ষিপ্ত করে, কাটার শক্তিকে 65% কমিয়ে দেয় এবং মূল থেকে প্রান্তের পতনকে দমন করে।
② ইন্টিগ্রাল PCD ড্রিল কাস্টমাইজেশন
ড্রিল বিটটি হীরার কম্পোজিট শীট (PCD) দিয়ে এক টুকরোতে তৈরি করা হয়েছে, যার একটি কাটিং এজ আর্কের নির্ভুলতা ±2μm এবং একটি 0.01 ডিগ্রি অক্ষীয় সংশোধন ব্যবস্থা রয়েছে যাতে 5mm গভীর গর্তের সোজাতা নিশ্চিত করা যায়।
③ ভ্যাকুয়াম শোষণ পজিশনিং টুলিং
একাধিক এলাকার স্বাধীন নিয়ন্ত্রণ সহ বায়ু ভাসমান প্ল্যাটফর্ম 280mm কোয়ার্টজ ডিস্কের সমতলতা ত্রুটিকে 0.005mm এর মধ্যে স্থির করে, ড্রিলিং অবস্থানের বিচ্যুতি দূর করে।
প্রসেসিং ডেটা তুলনা: দক্ষতা এবং নির্ভুলতায় ডবল লিপ
ক্রমাগত তিন মাস ধরে ব্যাপক উৎপাদনে গ্রাহকদের দ্বারা সমাধানটি যাচাই করা হয়েছে, এবং স্প্রে প্লেটের ফলন 67% থেকে 98% বেড়েছে, যা নির্মাতাদের প্রতি বছর কোয়ার্টজ উপাদানের ক্ষতির খরচে 8 মিলিয়ন ইউয়ানের বেশি সঞ্চয় করে।
শিল্পের অনুপ্রেরণা: যথার্থ যন্ত্রের প্রযুক্তিগত টার্নিং পয়েন্ট৷
কোয়ার্টজ গ্লাস মাইক্রো-গর্ত প্রক্রিয়াকরণ একসময় একটি "বাটলনেক" লিঙ্ক ছিল যা চিপ সরঞ্জামের আপগ্রেডকে সীমাবদ্ধ করে। অতিস্বনক প্রযুক্তির প্রকৌশল প্রয়োগের মাধ্যমে, বিশেন কেবলমাত্র 10:1 এর ব্যাস অনুপাতের গভীরতা-থেকে-গর্ত প্রক্রিয়াকরণের সমস্যার সমাধান করেনি, বরং ভঙ্গুর এবং কঠিন পদার্থের নির্ভুলতা মেশিনের জন্য একটি নতুন দৃষ্টান্তও যাচাই করেছে। উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ভাইব্রেশন কন্ট্রোল, যা সিরামিক এবং অপটিক্যাল গ্লাসের মতো শিল্পে অতি-নির্ভুল যন্ত্রের জন্য সার্বজনীন মান রয়েছে।
বিষেন নির্ভুলতা সম্পর্কে
বিষেননির্ভুলতা উচ্চ-নির্ভুল ধাতব অংশ তৈরিতে ফোকাস করে। 7,500 বর্গ মিটার আধুনিক উৎপাদন ভিত্তির উপর নির্ভর করে, এটি মহাকাশ, চিকিৎসা যন্ত্রপাতি এবং রোবোটিক্সের ক্ষেত্রে জটিল কাঠামোগত অংশগুলির জন্য এক-স্টপ সমাধান প্রদান করে৷ কোম্পানী "অত্যন্ত নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্য ডেলিভারি" কে তার মূল প্রতিযোগিতা হিসাবে গ্রহণ করে, এবং উপাদান পরিবর্তন, মাল্টি-অক্ষ সংযোগ প্রক্রিয়াকরণ থেকে মাইক্রোন-স্তরের পরীক্ষা পর্যন্ত সম্পূর্ণ-প্রক্রিয়া পরিষেবা প্রদান করার ক্ষমতা রাখে৷ এটি ISO 13485 মেডিকেল ডিভাইসের মান ব্যবস্থাপনা সিস্টেম, AS9100 এরোস্পেস সার্টিফিকেশন এবং অন্যান্য যোগ্যতা ধারণ করে এবং মোট 200,000টিরও বেশি মূল অংশ সরবরাহ করেছে, যা গ্রাহকদের নির্ভুল উত্পাদনের সীমানা ভেঙ্গে সাহায্য করে।
